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管式二合一PECVD设备

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管式二合一PECVD设备

AlO+SiN薄膜沉积。


设备名称 Equipment Name

管式二合一PECVD设备  Horizontal PECVD (Two-In-One)

设备型号 Equipment Model

PD-520/PD-520L/PD-520MAX

设备用途 Equipment Application

AlO+SiN薄膜沉积。

AlOx+SiN deposition.


技术特点  Features

1、AlOx+SiN二合一同管完成,减少工艺环节,有效提升良率、降低碎片率。

The AIOx & SiN layers can be coated in the same furnace tube which helps in reducing the process steps,improving the yield and lowering the breakage rate effectively.  

2、单机产能优越的二合一配置方案。
Optimal throughout solution: two-in-one configuration. 


设备参数  Parameters


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