近日，万博2.0手机版子万博2.0手机版常州万博中心手机版创精密机械有限万博2.0手机版完全自主研发的电子级硅芯清洗设备成功下线，将于近日部署至某合作客户处。 

此款硅芯清洗设备是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蚀清洗设备，用于清洗硅芯表面有机物、氧化物和金属离子，采用碱洗、酸洗、超声、机能水等工艺，产品可用于高纯光伏硅片和半导体硅片的生产制程，清洗后总表金属≤0.2ppbm。

 主要技术特点：

1. 材料升级：与德国Rochling合力开发耐氧化，耐高温材料用于槽体制作。

2. 工艺升级：结合国外成熟工艺与机能水清洗工艺，清洗能力更强。

3. 内部洁净升级：内部流场的全新设计，搭配更高效FFU、抽风通道及酸碱隔离装置，内部更洁净。

4. 结构升级：底部龙门式Robot设计，运载更稳定，运动部件产生的Particle可更快排出设备外。

5. 硅芯载体优化，更稳定的结构，更小的接触面积配合旋转机构，清洗更彻底。

6. 制作升级：槽体及槽内零件多采用折弯制作工艺，减少犄角疙瘩及焊接内的藏污纳垢。

7. 装配升级：全设备设置在千级洁净室生产。 

长期以来，电子级硅芯硅料清洗设备市场份额都被外国厂商占有，万博2.0手机版作为太阳能光伏电池设备行业先进企业及半导体设备制造商，坚持以研发制造先进专业设备，推动国内相关行业发展为己任。凭借雄厚的研发实力及近年来探索泛半导体行业装备开发经验，接连推出多款性能出众、引领行业的清洗设备。此次电子级硅芯硅料清洗设备研发的过程中，研发人员攻坚克难，突破了诸多关键技术，为设备的成功研发奠定了坚实的技术基础，并成为国内率先达到电子级标准的硅芯硅料清洗设备研发生产厂商。目前万博2.0手机版已实现表金属0.5ppbw以上等级的电子级硅料批量出货，2024第一季度将推出0.1ppbw以下的产品。 

未来，万博2.0手机版将继续秉承“技术领先，管理领先，服务领先”的发展战略，继续精进光伏电池生产设备及半导体湿法清洗设备研发，并向更广阔的产品领域和更丰富的技术路线继续发展，为客户提供技术先进、质量过硬、服务周到的产品。